今年4月29日剛剛獲得博士學(xué)位的黃維，在本月30日就正式投入了中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所碳化硅晶體項(xiàng)目科研工作。和黃維一樣項(xiàng)目部19名科研人員和11名碩博士研究生，為了將于今年底結(jié)項(xiàng)的項(xiàng)目任務(wù)，他們放棄了休息，“五一”假期正常工作。這一切都是為了國(guó)家第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)盡快成功。
碳化硅晶體（SiC）能使其成為高頻、大功率、耐高溫、抗輻照的半導(dǎo)體器件的優(yōu)選材料，可用于地面核反應(yīng)堆系統(tǒng)的監(jiān)控、原油勘探、環(huán)境監(jiān)測(cè)及航空、航天、雷達(dá)、通訊系統(tǒng)和大功率的電子轉(zhuǎn)換器及汽車馬達(dá)等領(lǐng)域的極端環(huán)境中。另外，采用SiC所制備的發(fā)光二極管的輻射波長(zhǎng)可以覆蓋從藍(lán)光到紫光的波段，在光信息顯示系統(tǒng)及光集成電路等領(lǐng)域中具有廣闊的應(yīng)用前景，世界各國(guó)對(duì)SiC的研究非常重視。
據(jù)介紹，當(dāng)上海硅酸鹽研究所承接國(guó)家第三代半導(dǎo)體核心材料碳化硅晶體自主研發(fā)項(xiàng)目時(shí)，讓很多從事這一領(lǐng)域的科研人員十分振奮，迅速由兩個(gè)相關(guān)課題組合并成為一個(gè)大項(xiàng)目部，來自上海、福建、河南、湖北、陜西等各個(gè)省市的研發(fā)團(tuán)隊(duì)中，70％以上的人都具有博士學(xué)位。
30日上午，記者來到位于上海嘉定區(qū)的上海硅酸鹽研究所中試基地時(shí)，黃維和項(xiàng)目部的科研人員正在緊張地召開項(xiàng)目推進(jìn)會(huì)。從去年開啟半導(dǎo)體核心材料碳化硅晶體研發(fā)國(guó)家重大科技項(xiàng)目以來，該項(xiàng)目部研究人員幾乎放棄所有節(jié)假日加緊攻關(guān)，目前20余臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生產(chǎn)爐已成功穩(wěn)定生產(chǎn)高質(zhì)量碳化硅晶體。
原本他剛剛獲得博士學(xué)位，同事們對(duì)他說，剛拿到學(xué)位，可以先好好輕松一段時(shí)間，但為了這個(gè)項(xiàng)目年底結(jié)項(xiàng)，他并沒有去休息，而是和大家一起加班加點(diǎn)地忙著，據(jù)了解，從承接這一項(xiàng)目以來，研發(fā)團(tuán)隊(duì)基本顧不上節(jié)假日休息，僅在春節(jié)時(shí)放過幾天假。
在項(xiàng)目部的一間測(cè)試實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，項(xiàng)目部薄膜與測(cè)試小組組長(zhǎng)劉學(xué)超正在指導(dǎo)一名研發(fā)人員對(duì)晶體成品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。他介紹說，項(xiàng)目部研制的晶體材料，都需要在這些檢測(cè)機(jī)器上完成表征測(cè)試，確保每項(xiàng)數(shù)據(jù)都合格。他告訴記者，隨著項(xiàng)目進(jìn)入關(guān)鍵階段，“每天的質(zhì)量測(cè)試工作差不多有十幾個(gè)小時(shí)，大家就輪班來做”。
劉學(xué)超此前在上海硅酸鹽研究所獲得博士學(xué)位，之后前往英國(guó)留學(xué)兩年，畢業(yè)后在當(dāng)?shù)匾患已芯繂挝还ぷ??！吧虾９杷猁}研究所承接了這個(gè)國(guó)家項(xiàng)目以后，所里的領(lǐng)導(dǎo)老師邀請(qǐng)我回來加入研發(fā)團(tuán)隊(duì)，我覺得這里的工作更有意義，雖然那邊的合同還沒到期，但我還是立馬回來了。”
5年前博士畢業(yè)后加入碳化硅晶體研發(fā)課題組的嚴(yán)成鋒，如今已是碳化硅晶體項(xiàng)目部晶體生長(zhǎng)組組長(zhǎng)。幾年來，他幾乎把全部心血都傾注在碳化硅晶體生長(zhǎng)爐研制上面，有時(shí)工作太晚就直接睡在儀器監(jiān)控室里。
在碳化硅晶體生長(zhǎng)實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)前，嚴(yán)成鋒介紹使用中的碳化硅晶體生長(zhǎng)爐時(shí)滔滔不絕：“自主研制新一代中用晶體爐是我們多年的夢(mèng)想，可以打破發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我們的技術(shù)壟斷，大大提升我國(guó)第三代半導(dǎo)體核心材料的自主研發(fā)生產(chǎn)能力?，F(xiàn)在，我們已經(jīng)掌握了從原料到晶體生長(zhǎng)、加工、清洗、檢測(cè)直至用戶生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的全部技術(shù)。”
嚴(yán)成鋒說，忙于工作的這段時(shí)間里，基本家人都沒法顧上，“好在家人都能理解，大家現(xiàn)都為國(guó)家第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)盡快成功，犧牲一點(diǎn)個(gè)人的東西沒什么”。
